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J-GLOBAL ID：202002279881275877   整理番号：20A0007783

100~450°Cにおける加熱後の酸素を含まないパラジウム/チタン非蒸発性ゲッターの表面分析とポンピング速度測定【JST・京大機械翻訳】

Surface analysis and pumping speed measurements of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter after heating at 100-450 °C

著者 (9件)： Miyazawa Tetsuya (Department of Materials Structure Science, SOKENDAI, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan) ,  Sugawara Yuta (Department of Complexity Science and Engineering, University of Tokyo, 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa 277-0882, Japan) ,  Yoshikawa Ichiro (Department of Complexity Science and Engineering, University of Tokyo, 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa 277-0882, Japan) ,  Sato Yuta (Graduate School of Engineering Science, Yokohama National University, 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, Japan) ,  Ohno Shinya (Graduate School of Engineering Science, Yokohama National University, 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, Japan) ,  Okada Tomohiro (Graduate School of Education, Tokyo Gakugei University, 4-1-1 Nukui-kita-machi, Koganei-shi 184-8501, Japan) ,  Matsumoto Masuaki (Graduate School of Education, Tokyo Gakugei University, 4-1-1 Nukui-kita-machi, Koganei-shi 184-8501, Japan) ,  Kikuchi Takashi (Institute of Materials Structure Science, KEK, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan) ,  Mase Kazuhiko (Department of Materials Structure Science, SOKENDAI, 1-1 Oho, Tsukuba 305-0801, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 37  号： 6  ページ： 062923-062923-6  発行年： 2019年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 活性化温度133°CのPd(無酸素Pd/Ti)薄膜で被覆したTiの無酸素薄膜からなる新しい非蒸発性ゲッタ(NEG)を最近開発した。150°Cでの焼成により活性化すると,酸素を含まないPd/Tiを用いたNEGポンプは,室温で効率的にH_2とCOを排出し,H_2とCOのポンピング速度は,活性化と空気への暴露の繰り返しサイクル後でも減少しなかった。[T.Kikuchiら,AIP Conf.,2054,06046(2019)]。しかし,酸素を含まないPd/Tiは,H2OやCO2などの他の主要な残留ガスを排出しない。NEGの応用の範囲を拡大するために,100~450°Cの範囲の種々の温度で10分間加熱した後,シンクロトロン放射X線光電子分光法により無酸素Pd/Tiの表面化学組成を分析した。Tiは300°Cで10分間加熱後に表面に偏析することを見出した。さらに,酸素を含まないPd/Tiで被覆された真空容器のH_2とCOのポンピング速度を,150~400°Cの範囲の種々の温度で12時間の焼成後に測定した。これらの結果は,Tiが250°Cで12時間焼成後にPd表面に偏析することを示唆した。したがって,250~300°C以上の加熱後に,酸素を含まないPd/Tiは,H_2およびCO以外の活性残留ガスがポンプされなければならない真空システム用のNEGポンプとして使用できる。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線光電子分光法 ,  速度測定 ,  *表面分析 ,  薄膜 ,  シンクロトロン放射 ,  *酸素 ,  二酸化炭素 ,  残留ガス ,  偏析 ,  *パラジウム ,  真空容器 ,  化学組成 ,  *チタン
準シソーラス用語： *非蒸発性ゲッタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体-金属接触  (BM03084G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸素 ,  パラジウム ,  チタン ,  非蒸発性ゲッター ,  表面分析 ,  ポンピング ,  速度測定