特許
J-GLOBAL ID：202003002175897050
基板吸着固定ステージ及びボール搭載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
めぶき国際特許業務法人
, 松尾 誠剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-181042
公開番号（公開出願番号）：特開2020-053540
出願日： 2018年09月26日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
要約：
【課題】ボール配列用マスクの反りや変形を防ぎ、過不足のない安定したボール搭載と、版離れに大きな駆動ストロークを必要としない基板吸着固定ステージを提供すること。【解決手段】基板14を吸着するための真空吸引孔55を有し、複数の磁性体部A及び磁性体部Bが平面一方向に隙間を有して交互に配列固定される第1プレート52と、第1プレート52のボール配列用マスク11に対して反対面側に配置されており、平板のマグネット57に複数の磁性体部Cの各々が複数の磁性体部Aの一つひとつと対向する位置に配列固定される第2プレート53と、磁性体部Cが磁性体部Aに重なる位置と、磁性体部Cが平面方向に磁性体部Aから離れ、かつ磁性体部Bに近接する位置と、に第2プレート53を第1プレート52に対して平行に移動するアクチュエータ60と、を有する基板吸着固定ステージ。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
磁性材料で形成されたボール配列用マスクに設けられたボール配列用孔から導電性ボールが振り込まれる基板を吸着固定し、ボール振込時に前記ボール配列マスクを前記基板に密着する基板吸着固定ステージであって、
前記基板を吸着するための真空吸引孔を有し、複数の磁性体部A及び磁性体部Bが平面一方向に隙間を有して交互に配列固定される第1プレートと、
前記第1プレートの前記ボール配列用マスクに対して反対面側に配置されており、平板のマグネットに複数の磁性体部Cの各々が複数の前記磁性体部Aの一つひとつと対向する位置に配列固定される第2プレートと、
前記磁性体部Cが前記磁性体部Aに平面的に重なる位置と、前記磁性体部Cが平面方向に前記磁性体部Aから離れ、かつ前記磁性体部Bに近接する位置と、に前記第2プレートを前記第1プレートに対して平行に移動するアクチュエータと、
を有する、
ことを特徴とする基板吸着固定ステージ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/92 604H
, H01L21/92 604Z
, H05K3/34 505A
5E319AA03
, 5E319BB04
, 5E319CC33
, 5E319CD26
, 5E319GG20
