特許
J-GLOBAL ID：202003004222658453

ウェーハ搬送装置

発明者：
西村 英里子

西村 英里子 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス

株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス について


代理人 (1件)： 特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-235208
公開番号（公開出願番号）：特開2020-098809
出願日： 2018年12月17日
公開日（公表日）： 2020年06月25日
要約：
【課題】搬送ロボットの移動によって巻き上げられる異物を効率的に排出することができるウェーハ搬送装置を提供する。【解決手段】ウェーハ搬送装置101は、ウェーハ103を搬送する搬送ロボット102と、空気清浄空間を形成するとともに搬送ロボット102を収容する収容構造100と、搬送ロボット102の移動に起因して動作し、異物110を収容構造100の外部に排出する異物排出機構201とを備える。異物排出機構201は、開口部303と、開口部303に配置される蓋302とを備えてもよく、蓋302は、搬送ロボット102の移動により発生する気圧差によって動作してもよい。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ウェーハを搬送する搬送ロボットと、 空気清浄空間を形成するとともに前記搬送ロボットを収容する収容構造と、 前記搬送ロボットの移動に起因して動作し、異物を前記収容構造の外部に排出する異物排出機構と、 を備える、ウェーハ搬送装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (16件)：
5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131JA16 ,  5F131JA22 ,  5F131JA25 ,  5F131JA27 ,  5F131JA28 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33
引用特許：
審査官引用 (7件)
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