特許
J-GLOBAL ID:202003005350486866
モニタリング装置及びモニタリング方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (9件):
大森 純一
, 高橋 満
, 中村 哲平
, 折居 章
, 関根 正好
, 金子 彩子
, 金山 慎太郎
, 千葉 絢子
, 白鹿 智久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-029056
公開番号(公開出願番号):特開2020-134347
出願日: 2019年02月21日
公開日(公表日): 2020年08月31日
要約:
【課題】多層化又は混合物化した堆積物の状態をモニタリングすること。【解決手段】モニタリング装置1は、堆積物2に電磁波を照射し、堆積物2から得られる電磁波の応答特性を観測する観測部10と、観測部10の観測結果から、第1の性質の電磁波に対する前記応答特性、第2の性質の電磁波に対する前記応答特性、第1の種類の前記応答特性及び第2の種類の応答特性のうち少なくとも2つを得て、得られた少なくとも2つの応答特性に基づき、多層化又は混合物化した堆積物2を構成する複数の物の状態を推定する推定部30とを有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
堆積物に電磁波を照射し、前記堆積物から得られる前記電磁波の応答特性を観測する観測部と、
前記観測部の観測結果から、第1の性質の電磁波に対する前記応答特性、第2の性質の電磁波に対する前記応答特性、第1の種類の前記応答特性及び第2の種類の応答特性のうち少なくとも2つを得て、得られた少なくとも2つの前記応答特性に基づき、多層化又は混合物化した前記堆積物を構成する複数の物の状態を推定する推定部と
を具備するモニタリング装置。
IPC (3件):
G01N 21/47
, G01N 21/27
, G01B 11/10
FI (3件):
G01N21/47 B
, G01N21/27 A
, G01B11/10 H
Fターム (32件):
2F065AA25
, 2F065AA26
, 2F065AA58
, 2F065AA59
, 2F065BB07
, 2F065BB17
, 2F065CC40
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065GG23
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065QQ38
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE11
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059JJ03
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
, 2G059MM02
, 2G059MM04
, 2G059MM10
, 2G059PP04
引用特許:
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