特許
J-GLOBAL ID：202003005749910475
成膜装置、有機ELパネルの製造システム、及び成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大田 隆史
, 鱸 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-233798
公開番号（公開出願番号）：特開2020-094244
出願日： 2018年12月13日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：
【課題】マスクを基板に密着させる際に、マスクの撓みが残留するのを防止する。【解決手段】成膜装置100は、マスク保持部9、複数の磁石30、及びヨーク29を備える。マスク保持部9は、ガラス基板5が載置されるマスク6を保持する。ヨーク29は、複数の磁石30が取り付けられる主面291を有する。ヨーク29は、マスク保持部9によりマスク6が保持される位置よりも上に配置され、主面291が水平状態又は傾斜状態となるように回動可能である。複数の磁石30の各々は、主面291に取り付けられる面とは反対側の磁極面を有する。複数の磁石30は、主面291に沿う所定方向に配列された磁石群を含む。磁石群は、第1間隔で隣り合って配置され、磁極面の磁極が互いに異なる第1磁石ペアと、第1間隔よりも広い第2間隔で隣り合って配置され、磁極面の磁極が互いに異なる第2磁石ペアと、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板が載置されるマスクを保持するマスク保持部と、
複数の磁石と、
前記複数の磁石が取り付けられる主面を有し、前記マスク保持部によりマスクが保持される位置よりも上に配置され、前記主面が水平状態又は傾斜状態となるように回動可能な第1部材と、を備え、
前記複数の磁石の各々は、前記主面に取り付けられる面とは反対側の磁極面を有し、
前記複数の磁石は、前記主面に沿う所定方向に配列された磁石群を含み、
前記磁石群は、第1間隔で隣り合って配置され、前記磁極面の磁極が互いに異なる第1磁石ペアと、前記第1間隔よりも広い第2間隔で隣り合って配置され、前記磁極面の磁極が互いに異なる第2磁石ペアと、を含むことを特徴とする成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 14/04
, C23C 14/12
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, C23C14/12
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029HA04
