特許
J-GLOBAL ID：202003010700341401
積層体及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-035033
公開番号（公開出願番号）：特開2019-117918
特許番号：特許第6626143号
出願日： 2018年02月28日
公開日（公表日）： 2019年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガラス基板と、前記ガラス基板上に接する酸化チタン膜と、前記酸化チタン膜上に接する樹脂層との積層体であって、
前記酸化チタン膜は、前記樹脂層が設けられる側の表面または内部に、水素、酸素、及び水酸基を含み、
前記酸化チタン膜と前記樹脂層とを分離する用の積層体。
IPC (7件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, B32B 37/26 ( 200 6.01)
, B23K 26/18 ( 200 6.01)
, B23K 26/57 ( 201 4.01)
, B23K 26/36 ( 201 4.01)
H01L 21/02 C
, H01L 29/78 626 C
, H01L 29/78 612 Z
, H01L 29/78 627 D
, B32B 37/26
, B23K 26/18
, B23K 26/57
, B23K 26/36
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (6件)
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