特許
J-GLOBAL ID：202003011442666704
装置、方法、及び物品製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-220927
公開番号（公開出願番号）：特開2018-078258
特許番号：特許第6762853号
出願日： 2016年11月11日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の上の未硬化の材料と型とを接触させた状態で前記未硬化の材料を硬化させ、該硬化した材料から前記型を引き離す装置であって、
前記型を保持して移動する型保持部と、
前記基板の下面を吸着する複数の吸着領域を有し、前記基板を保持して移動する基板保持部と、
を有し、
前記複数の吸着領域のうちの前記基板の上の前記硬化した材料がある部分に対応する前記基板の下面の領域を吸着する第1吸着領域の吸着力よりも前記複数の吸着領域のうちの前記第1吸着領域より前記基板の外周側にある第2吸着領域の吸着力を大きくした状態で、前記型と前記基板の間の間隔が広がるように前記型保持部および前記基板保持部の少なくとも一方を移動させる動作を行い、その後、前記基板保持部と前記型保持部とを相対的に傾斜させ、前記基板保持部と前記型保持部とが相対的に傾斜した状態で、前記硬化した材料から前記型を引き離す
ことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 Z
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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