特許
J-GLOBAL ID：201503042024153840

インプリント用モールド複合体およびその製造方法

発明者：
有塚 祐樹

有塚 祐樹 について

, 
中田 尚子

中田 尚子 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 米田 潤三 ,  太田 昌孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-258866
公開番号（公開出願番号）：特開2015-111683
出願日： 2014年12月22日
公開日（公表日）： 2015年06月18日
要約：
【課題】 インプリント方法において、より小さな剥離力での剥離が可能となり、被転写物である被転写材料がモールドに付着するという不都合の発生を回避できるインプリント用モールド複合体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のインプリント用モールド複合体は、モールドと、このモールドの凹凸構造領域と異なる領域に吸着または接合されて一体化された少なくとも2種類以上の異なる弾性の部分、または上記の凹凸構造領域と異なる領域に吸着または固着された少なくとも2以上の異なる剛性の部分と、を備えるように構成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
モールドと、該モールドの凹凸構造領域と異なる領域に吸着または接合されて一体化された少なくとも2種類以上の異なる弾性の部分、または該モールドの凹凸構造領域と異なる領域に吸着または固着された少なくとも2以上の異なる剛性の部分と、を備えることを特徴とするインプリント用モールド複合体。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B29C 33/38
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 B ,  B29C33/38
Fターム (37件)：
4F202AA36 ,  4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AH73 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202AR20 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD05 ,  4F202CD23 ,  4F202CK12 ,  4F209AA36 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ09 ,  4F209AR20 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA32 ,  5F146AA34
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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