特許
J-GLOBAL ID：202003016652346305
脆性材料基板の分断方法並びに分断装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-189937
公開番号（公開出願番号）：特開2018-052770
特許番号：特許第6775822号
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 脆性材料基板を載置するテーブルと、
光源から出射されたパルスレーザビームのバーストを含んだレーザビームを、収差を生じさせる収差生成レンズを介して収差レーザビームに生成する収差レーザビーム発光部材と、
前記収差レーザビーム発光部材を、前記脆性材料基板の分断予定ラインに沿って相対的に移動させる収差レーザビーム発光部材移動機構と、
前記収差レーザビームが照射された前記分断予定ラインに沿って分断用レーザビームを照射する分断用レーザビーム発光部材と、
前記分断用レーザビームの照射ポイントのレーザビーム進行方向前方側を冷却する冷媒噴射部材と、
前記分断用レーザビーム発光部材並びに冷媒噴射部材を前記脆性材料基板の分断予定ラインに沿って相対的に移動させる分断用レーザビーム発光部材移動機構とからなる脆性材料基板の分断装置であって、
前記テーブルの左右に配置された支柱にガイドを備えた水平なビームが設けられ、
前記ガイドには、前記収差レーザビーム発光部材を備えたスクライブヘッドと、
分断用レーザビーム発光部材および冷却部材を備えたスクライブヘッドとが、ガイドに沿って移動できるように取り付けられ、
前記収差レーザビームが波長0.7〜2.5μmの近赤外レーザビームであり、
前記分断用レーザビームがCO2レーザビームである分断装置。
IPC (4件)：
C03B 33/09 ( 200 6.01)
, B23K 26/064 ( 201 4.01)
, B23K 26/53 ( 201 4.01)
, B23K 26/06 ( 201 4.01)
C03B 33/09
, B23K 26/064 Z
, B23K 26/53
, B23K 26/06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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