特許
J-GLOBAL ID：201503018988763070
透明材料の内部でレーザーフィラメンテーションを実行する方法および装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
津野 孝
, 加藤 来
, 平林 岳治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-156289
公開番号（公開出願番号）：特開2015-037808
出願日： 2014年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月26日
要約：
【課題】透明材料内に、連続的なレーザーフィラメントを形成するシステムおよび方法を提供する。【解決手段】超高速レーザーパルスのバーストを、加工対象の材料115の外部175にビームウエストが形成されるように集束する。外部プラズマチャネルを形成することなく、かつ材料の内部の拡張された領域内に、材料内での光学破壊を引き起こすことなく、連続的なフィラメント170の形成をサポートするための、十分なエネルギー密度が形成される。この方法で形成されたフィラメントは、長さが10mmを超え得る。収差光学集束要素150を利用して、外部ビームウエストを生成しつつ、材料の内部で入射ビーム165を分散集束させる。クリービング/シンギュレーションおよび/またはマーキングのために、透明基板の内部でのフィラメントアレイの形成を促進する。フィラメントの光学監視を利用して、工程の能動制御を促進するフィードバックを提供する。【選択図】図1(c)
請求項（抜粋）：
レーザーの波長に対して透明である透明材料を前記レーザーで加工する方法であって、
単一のレーザーパルスまたは複数のレーザーパルスとして定義されるレーザーパルスのバーストを含むレーザービームを提供するステップと、
前記レーザービームを前記透明材料に対して外的に集束して、外部プラズマチャネルの形成を回避しつつ前記透明材料の外部の位置にビームウエストを形成するステップと、
を含み、
前記レーザーパルスが、前記透明材料の光学破壊を引き起こすことなく前記透明材料の内部に連続的なレーザーフィラメントを形成するための十分なエネルギー密度が前記透明材料の内部で維持されるように集束される方法。
IPC (8件)：
B23K 26/53
, B23K 26/00
, B23K 26/36
, B23K 26/064
, B23K 26/067
, H01L 21/301
, B28D 5/00
, C03B 33/09
B23K26/53
, B23K26/00 P
, B23K26/36
, B23K26/064 A
, B23K26/067
, H01L21/78 B
, B28D5/00 Z
, C03B33/09
3C069AA01
, 3C069AA03
, 3C069BA08
, 3C069BB01
, 3C069CA02
, 3C069CA03
, 3C069CA05
, 3C069CA11
, 3C069EA01
, 3C069EA05
, 4E168AA00
, 4E168AD18
, 4E168AE01
, 4E168AE05
, 4E168CA02
, 4E168CA05
, 4E168CA06
, 4E168CB01
, 4E168CB04
, 4E168CB07
, 4E168CB15
, 4E168CB17
, 4E168CB22
, 4E168CB23
, 4E168CB24
, 4E168DA00
, 4E168DA02
, 4E168DA13
, 4E168DA32
, 4E168DA37
, 4E168DA46
, 4E168DA54
, 4E168DA60
, 4E168EA03
, 4E168EA06
, 4E168EA13
, 4E168EA15
, 4E168EA23
, 4E168JA01
, 4E168JA11
, 4E168JA13
, 4E168JA14
, 4E168JA15
, 4E168JA17
, 4E168JA27
, 4E168JA28
, 4E168JB03
, 4E168JB05
, 4E168KA04
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC14
, 5F063AA44
, 5F063BA33
, 5F063BA45
, 5F063BA47
, 5F063BA48
, 5F063CB07
, 5F063DD27
, 5F063DD32
, 5F063DE33
