特許
J-GLOBAL ID：202003019419115203
走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡の測定レンジ調整方法及び測定レンジ調整プログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
赤尾 謙一郎
, 下田 昭
, 栗原 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-058655
公開番号（公開出願番号）：特開2016-194511
特許番号：特許第6706519号
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2016年11月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料の表面に接触又は近接させる探針が設けられたカンチレバーと、前記カンチレバーの変位を示す信号を検出する変位検出器と、前記信号に基づいて前記カンチレバーと前記試料の表面との間の所定の物理量を一定に維持させながら、前記探針を前記試料の表面に沿って相対的に走査させたときに得られた測定データを取得する走査プローブ顕微鏡において、
前記測定データを取得する前に、前記探針を粗く走査させたプリスキャンを行ったとき、前記信号の最大値と最小値から、測定幅=(前記最大値-前記最小値)と、オフセット量=(前記測定幅/2)+前記最小値を算出する測定レンジ算出手段と、
前記プリスキャンを行ったときの、前記試料の表面の同一位置での前記信号の経時変化量に基づき、前記オフセット量又は前記測定幅のうち少なくともいずれか一方を補正する算出データ補正手段と、
前記信号に基づいて、前記測定データを取得する測定データ取得手段と、
をさらに備えたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01Q 30/06 ( 201 0.01)
, G01Q 60/10 ( 201 0.01)
, G01Q 60/24 ( 201 0.01)
G01Q 30/06
, G01Q 60/10
, G01Q 60/24
