特許
J-GLOBAL ID：202103001091337417
蒸着用メタルマスク基材、蒸着用メタルマスク、蒸着用メタルマスク基材の製造方法、および、蒸着用メタルマスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-566838
特許番号：特許第6805830号
出願日： 2016年07月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面と、前記表面とは反対側の面である裏面とを備え、30質量%以上のニッケルを含む鉄ニッケル合金からなるニッケル含有金属シートであり、
前記表面および前記裏面の少なくとも一方は、レジスト層が位置するための対象面であり、
前記対象面の表面粗さSaが0.019μm以下であり、かつ、前記対象面の表面粗さSzが0.308μm以下であり、
ハロゲンランプから射出された光が前記対象面の法線方向に対して45°±0.2°の入射角度で前記対象面に入射したときの正反射による反射率が67.5%以上97.0%以下であり、
前記対象面において相互に直交する2つの方向の各々が前記光の入射する方向であり、前記2つの方向における前記反射率の差が3.6%以下である
蒸着用メタルマスク基材。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
C23C 14/04 A
, H05B 33/14 A
, H05B 33/10
