特許
J-GLOBAL ID：201503092355545096
金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 堀田 幸裕
, 岡村 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190881
公開番号（公開出願番号）：特開2015-055007
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
要約：
【課題】良好な搬送性を有する金属板を提供する。【解決手段】金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値は、0.4%以下になっている。また、中央部分における急峻度の最大値は、一端側部分における急峻度の最大値以下になっており、かつ、他端側部分における急峻度の最大値以下になっている。さらに、一端側部分における急峻度の最大値と、他端側部分における急峻度の最大値と、の差は、0.4%以下になっている。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
複数の貫通孔を形成してマスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
前記マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
前記金属板の製造方法は、
母材を圧延して前記金属板を得る圧延工程と、
前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
前記切断工程後の前記金属板は、その長手方向における長さがその幅方向の位置に応じて異なることに起因する波打ち形状を少なくとも部分的に有しており、
前記切断工程後の前記金属板の前記波打ち形状の前記長手方向における周期に対する、前記波打ち形状の高さの百分率を急峻度と称する場合、以下の条件(1)〜(3)が満たされており、
(1)前記切断工程後の前記金属板の幅方向の中央部分における急峻度の最大値が、0.4%以下であること;
(2)前記中央部分における急峻度の最大値が、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の一端側部分における急峻度の最大値以下であり、かつ、前記切断工程後の前記金属板の幅方向の他端側部分における急峻度の最大値以下であること;および、
(3)前記一端側部分における急峻度の最大値と、前記他端側部分における急峻度の最大値と、の差が0.4%以下であること;
前記一端側部分、前記中央部分および前記他端側部分はそれぞれ、前記切断工程後の前記金属板の幅の30%、40%および30%を占める部分である、金属板の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 G
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG12
, 3K107GG26
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029HA01
