特許
J-GLOBAL ID：202103009384472204
13族元素窒化物層、自立基板および機能素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-538018
特許番号：特許第6851485号
出願日： 2018年07月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶から選択された13族元素窒化物結晶からなり、上面及び底面を有する13族元素窒化物結晶層であって、
前記上面をカソードルミネッセンスによって観測したときに、線状高輝度発光部と、前記線状高輝度発光部に隣接する低輝度発光領域とを有しており、
前記上面におけるX線ロッキングカーブの(0002)面反射の半値幅が3000秒以下、20秒以上であり、
酸素原子の含有量が1×1018atom/cm3以下であり、珪素原子、マンガン原子、炭素原子、マグネシウム原子およびカルシウム原子の含有量がそれぞれ1×1017atom/cm3以下であり、クロム原子の含有量が1×1016atom/cm3以下であり、塩素原子の含有量が1×1015atom/cm3以下であることを特徴とする、13族元素窒化物結晶層。
IPC (5件)：
H01L 33/16 ( 201 0.01)
, H01L 33/32 ( 201 0.01)
, C30B 25/02 ( 200 6.01)
, C30B 29/38 ( 200 6.01)
, C30B 19/04 ( 200 6.01)
H01L 33/16
, H01L 33/32
, C30B 25/02
, C30B 29/38
, C30B 19/04
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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