液中プラズマ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-157716
公開番号（公開出願番号）：特開2021-036494
出願日： 2019年08月30日
公開日（公表日）： 2021年03月04日
要約：

【課題】液体をプラズマ処理する際の処理効率を向上させる。【解決手段】本発明に基づく液中プラズマ装置100は、プラズマ10を用いて液体20を処理する。液中プラズマ装置100は、第1電極110と、第2電極120と、第1誘電体130と、第2誘電体140と、電源150とを備えている。第2電極120は、第1電極110と間隔を空けて配置されている。第1誘電体130は、第1電極110を被覆している。第2誘電体140は、第2電極120に接している。第2誘電体140は、第1誘電体130とは離間しつつ第1電極110と第2電極120との間に介在している。電源150は、第1電極110と第2電極120との間に電圧を印加する。第1電極110は、第1誘電体130を介して液体20と接している。第2電極120は、第2誘電体140を介して液体20と接している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマを用いて液体を処理する液中プラズマ装置であって、第1電極と、前記第1電極と間隔を空けて配置された第2電極と、前記第1電極を被覆する第1誘電体と、前記第2電極に接するとともに、前記第1誘電体とは離間しつつ前記第1電極と前記第2電極との間に介在する第2誘電体と、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電源とを備え、前記第1電極は、前記第1誘電体を介して前記液体と接しており、前記第2電極は、前記第2誘電体を介して前記液体と接している、液中プラズマ装置。

IPC (3件)：

H05H 1/24 , C02F 1/48 , B01J 19/08

FI (3件)：

H05H1/24 , C02F1/48 B , B01J19/08 H

Fターム (47件)：

2G084AA13 , 2G084AA19 , 2G084AA25 , 2G084BB04 , 2G084BB11 , 2G084BB23 , 2G084BB36 , 2G084CC03 , 2G084CC08 , 2G084CC19 , 2G084CC34 , 2G084CC35 , 2G084DD12 , 2G084DD18 , 2G084DD22 , 2G084FF39 , 4D061DA01 , 4D061DA08 , 4D061DA10 , 4D061DB01 , 4D061DB19 , 4D061DC03 , 4D061DC08 , 4D061EA15 , 4D061EB02 , 4D061EB07 , 4D061EB14 , 4D061EB19 , 4D061EB30 , 4D061EB31 , 4D061EB33 , 4D061EB34 , 4D061EB35 , 4D061EB40 , 4D061ED12 , 4D061ED13 , 4D061ED20 , 4G075AA13 , 4G075AA15 , 4G075BA05 , 4G075CA47 , 4G075CA57 , 4G075CA62 , 4G075CA63 , 4G075EA02 , 4G075EB41 , 4G075EE02

引用特許：

審査官引用 (8件)

液中プラズマ発生装置および液体処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-097043 出願人：株式会社SCREENホールディングス
プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-002288 出願人：学校法人名城大学, 株式会社オーク製作所
水質制御装置及び水質制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-272353 出願人：株式会社サムスン横浜研究所

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