基板を保持するための装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 杉村光嗣 , 石川雅章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-566683
特許番号：特許第6873058号
出願日： 2016年06月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】静電チャックと、該静電チャックより低い温度のベースと、前記静電チャックと前記ベースとの間に配置される熱遮蔽であって、一面の上に、反射材料の層で覆われるポリイミド膜を備える熱遮蔽と、前記熱遮蔽を前記静電チャックから分離する1つ以上のワッシャと、を備え、前記熱遮蔽は、前記反射材料の層が、前記静電チャックにより近く配置され、前記静電チャックによる放射熱を前記静電チャックへ反射し返すように、配置され、前記反射材料の層は30ナノメートルと100ナノメートルとの間であり、前記ポリイミド膜の厚さは1ミルと5ミルとの間である、基板を保持するための装置。

IPC (2件)：