垂直方向にオフセットされた水平方向に部分的に重なり合うフログレッグリンケージを含むデュアルブレードロボットおよびそれを含むシステムと方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-514914
特許番号：特許第6838200号
出願日： 2018年09月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1のリストコネクタ及び第1のブレードに連結され、前記第1のブレードを第1の方向に延長するように構成された第1のフログレッグリンケージ、および第2のリストコネクタ及び第2のブレードに連結され、前記第1のブレードを前記第1の方向に整列させながら、前記第2のブレードを、前記第1の方向と反対の第2の方向に延長するように構成された第2のフログレッグリンケージを備えるデュアルブレードロボットであって、前記第2のフログレッグリンケージが、前記第1のブレードおよび前記第2のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第2のリストコネクタが前記第1のリストコネクタと部分的に重なるように、前記第1のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされており、前記第1のブレードおよび前記第2のブレードがそれぞれ前記後退位置にある間、前記第1のブレードは前記第1の方向に向けられ、前記第2のブレードは前記第2の方向に向けられる、デュアルブレードロボット。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , B25J 15/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B25J 15/00 F

引用特許：

出願人引用 (6件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-136400 出願人：株式会社ダイヘン
移送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-349923 出願人：三星電子株式会社
基板の搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-198460 出願人：ローツェ株式会社

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審査官引用 (3件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-136400 出願人：株式会社ダイヘン
移送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-349923 出願人：三星電子株式会社
基板の搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-198460 出願人：ローツェ株式会社

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