特許
J-GLOBAL ID：202203005778350866
連続成膜方法、連続成膜装置、サセプタユニット、及びサセプタユニットに用いられるスペーサセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 峰 隆司
, 河野 直樹
, 井上 正
, 金子 早苗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-229825
公開番号（公開出願番号）：特開2020-092227
特許番号：特許第7023826号
出願日： 2018年12月07日
公開日（公表日）： 2020年06月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のウェハを順次成膜処理する連続成膜方法であって、 前記複数のウェハを、支持部材と、載置される前記ウェハの外周を囲むように支持部材上に設けられる側面ガイドと、前記ウェハの上面と前記側面ガイドの上面との相対高さを調整するための調整部材と、を含むサセプタユニット上に載置し、 載置された前記ウェハの上面にプロセスガスを供給しながら、前記ウェハを加熱及び回転させることにより、所定の膜を堆積させる成膜処理を順次行い、 堆積された前記所定の膜の厚さに基づいて、前記調整部材を用いて前記相対高さを調整する、 ことを含む連続成膜方法。
IPC (3件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/458 ( 200 6.01)
, C23C 16/52 ( 200 6.01)
H01L 21/205
, C23C 16/458
, C23C 16/52
