加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小野尚純 , 奥貫佐知子 , 鹿角剛二 , 金子吉文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027609
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145637
特許番号：特許第6998232号
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数のデバイスがストリートによって区画され表面に形成されたウエーハを個々のデバイスに分割する加工溝を形成する加工装置であって、ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハのストリートに加工溝を形成する加工手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に相対的に加工送りするX軸送り手段と、該保持手段と該加工手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りするY軸送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハを撮像しストリートおよび加工溝を検出する基準線を備えた顕微鏡を有する撮像手段と、表示手段と、を少なくとも備え、該表示手段には、該撮像手段が撮像した画像を表示する画像表示部と、ストリートと該基準線とのズレ量を補正値として記憶するためのストリート補正ボタンと、加工溝と該基準線とのズレ量を補正値として記憶するための加工溝補正ボタンと、該Y軸送り手段を作動するY軸作動部と、該基準線を挟み線対称を保ち該基準線に接近および離反する一対の可動線と、該一対の可動線を作動する可動線作動部と、が表示され、該一対の可動線の間隔が、ストリートの幅と認識される間隔に設定されていない場合に該ストリート補正ボタンをタッチするとエラーが報知され、該一対の可動線の間隔が、加工溝の幅と認識される間隔に設定されていない場合に該加工溝補正ボタンをタッチするとエラーが報知される加工装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/78 C , H01L 21/78 F

引用特許：

出願人引用 (7件)

切削溝の検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-177988 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-337878 出願人：株式会社東京精密
ダイシングマシンの溝切制御方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-065341 出願人：株式会社東京精密

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