トリミング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-189170
公開番号（公開出願番号）：特開2020-056752
特許番号：特許第7059880号
出願日： 2018年10月04日
公開日（公表日）： 2020年04月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸素濃度を検出するガスセンサ(11)に用いられ、多孔質材からなる拡散層(26)、及び、前記拡散層よりも緻密である緻密部(27)を有するセンサ素子(15)の出力調整を行うトリミング装置において、前記センサ素子の前記拡散層及び前記緻密部にレーザ照射して加工を行うレーザ照射部(38)と、前記センサ素子の位置を特定する位置特定部(40)と、直方体の前記センサ素子の一端に設けられた外部電極(16、17)に導通するプローブ電極(32)から前記センサ素子の出力の情報を取得する情報通信用コンピュータ(34)と、前記位置特定部から取得した前記センサ素子の位置情報に基づいて、前記レーザ照射部にレーザ照射の位置を指示し、且つ、前記情報通信用コンピュータから取得した前記センサ素子の出力の情報に基づいて、レーザ照射のエネルギーを指示する加工制御用コンピュータ(35)と、を備え、前記加工制御用コンピュータは、レーザ照射による前記センサ素子の加工と前記センサ素子の出力の測定とを同時期に行うトリミング装置。

IPC (2件)：

G01N 27/41 ( 200 6.01) , G01N 27/409 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 27/41 325 J , G01N 27/409 100 , G01N 27/41 325 D

引用特許：

出願人引用 (8件)

センサエレメント
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-530228 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
ガスセンサ素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-033159 出願人：株式会社デンソー
特開昭61-122557

全件表示

審査官引用 (8件)

センサエレメント
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-530228 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
ガスセンサ素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-033159 出願人：株式会社デンソー
特開昭61-122557

全件表示

前のページに戻る