特許
J-GLOBAL ID：202203018921142131
保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-032673
公開番号（公開出願番号）：特開2019-149434
特許番号：特許第7030557号
出願日： 2018年02月27日
公開日（公表日）： 2019年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の方向に略直交する略平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、有する板状部材と、 第3の表面と、前記第3の表面とは反対側の第4の表面と、を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面に対向するように配置され、前記第3の表面から前記第4の表面まで貫通する第1の貫通孔が形成されたベース部材と、 前記板状部材に配置された複数のヒータ電極であって、それぞれ前記第1の方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部を有する複数のヒータ電極と、 前記ヒータ電極に電気的に接続された給電端子と、 前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接着すると共に、前記ベース部材の前記第1の貫通孔と連通して、前記給電端子が収容された端子用孔を前記第1の貫通孔と共に構成する第2の貫通孔が形成された接着部と、を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、 前記板状部材は、 前記第1の方向視で前記端子用孔に重なる第1の部分と、前記第1の方向視で前記ベース部材における前記端子用孔以外の部分に重なる第2の部分と、を含み、 前記複数のヒータ電極は、 前記ヒータライン部の延伸方向の全体にわたって、前記ヒータライン部の幅方向の少なくとも一部が、前記板状部材における前記第1の部分に配置された第1のヒータ電極と、 前記第1のヒータ電極と並列接続の関係にあり、前記ヒータライン部の全体が、前記板状部材における前記第2の部分に配置された第2のヒータ電極と、を含む、ことを特徴とする保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H05B 3/03 ( 200 6.01)
, H05B 3/74 ( 200 6.01)
, H02N 13/00 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H05B 3/03
, H05B 3/74
, H02N 13/00 D
