特許
J-GLOBAL ID：202203020177688303
インプリントモールド用基板、マスクブランク及びインプリントモールドの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 武史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-032947
公開番号（公開出願番号）：特開2019-149441
特許番号：特許第7061895号
出願日： 2018年02月27日
公開日（公表日）： 2019年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対向する2つの主表面を備え、一方の前記主表面に台座構造を有し、他方の前記主表面に凹部を有する基板からなるインプリントモールド用基板であって、 前記凹部は、前記一方の主表面に対向する底面と側壁面とを有し、 前記主表面方向から見たとき、前記凹部の底面は、前記台座構造を包含する大きさを有し、 前記凹部の底面の面積は、前記凹部の開口端部の開口面積よりも大きく、 前記凹部の底面の面積は、前記台座構造の面積の2倍以上であり、 前記開口端部の開口面積を除いた前記他方の主表面の面積は、前記台座構造の面積の5倍以上であり、前記主表面方向から見たときの前記台座構造の形状は多角形状であり、前記主表面方向から見たときの前記主表面の形状は矩形状であり、前記主表面の対角線の長さに対する前記多角形状の台座構造の外接円の直径の比率が0.38倍以上である、ことを特徴とするインプリントモールド用基板。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 33/38
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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