Shikama Tomokazu

シカマトモカズ | Shikama Tomokazu

Affiliation and department：
Job title： Professor

Research field (1)： Electric/electronic material engineering

Research keywords (6)： CVD , 酸化亜鉛 , 大気圧プラズマ , transparent conductive film , open air plasma , ZnO

Research theme for competitive and other funds (8)：

2016 - 2019 A nanotechnology platform established in average science laboratories
2004 - 2005 Effect of deposition rate on ZnO films made by an atmospheric pressure cold plasma generator
大気圧低温プラズマの応用
大気圧低温プラズマによるプラスチックの表面処理
大気圧低温プラズマによる透明導伝性薄膜の作製

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Papers (35)：

Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hideo Horibe. Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst. AIP Conference Proceedings. 2019. 2151
Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Relationship between oxygen additive amount and photoresist removal rate using h radicals generated on an iridium hot-wire catalyst. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2019. 32. 4. 609-614
Nobuaki HIRAOKA, Hiroyuki SOGO, Satoshi YURA, Tomohiro HENMI, Shinichiro SHOBAKO, Kohei ISHII, Nobuhiro TSUMORI, Tomokazu SHIKAMA, Shiro URUSHIHARA, Hiroo TARAO. A study on propelling force production mechanism A study on propelling force production mechanism A study on propelling force production mechanism A study on propelling force production mechanism A study on propelling force production mechanism A study on. Transaction of the JSME. 2018. 84. 862. 18-31
HIRAOKA Nobuaki, TARAO Hiroo, SOGO Hiroyuki, YURA Satoshi, HENMI Tomohiro, SHOBAKO Shinichiro, ISHII Kohei, TSUMORI Nobuhiro, SHIKAMA Tomokazu, URUSHIHARA Shiro. A study on propelling force production mechanism under the motor shaft direct drive scheme (Generation of forward motion on single motor shaft direct drive vehicle). Transactions of the JSME (in Japanese). 2018. 84. 862. 18-00031-18-00031
Masashi Yamamoto, Tomohiro Taki, Takuto Sunada, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Removal of polymers for KrF and arf photoresist using hydrogen radicals containing a small amount of oxidizing radicals. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2018. 31. 3. 419-424

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MISC (34)：

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫. 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2017. 64th
鹿間共一. Effect of O2 gas flow rate and RF power on Zinc oxide films made by the atmospheric pressure cold plasma method. 6th INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON TECHNOLOGY FOR SUSTAINABILITY, 6 October 2016. 2016
高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫. 大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2016. 63rd
山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫. 水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2016. 63rd
雛元洋一, 柿元健, 太良尾浩生, 辻正敏, 重田和弘, 鹿間共一. 電気系基礎科目における解答の書き方指導の取組みとその効果. 高専教育. 2015. 38. 146-151

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Lectures and oral presentations (61)：

Nanotech Platform Established for Average Technical Education Science Laboratories
(応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2020)
大気圧低温プラズマより作製したAZO/ZnO/ZnO薄膜の水添加による膜特性の変化
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2018)
大気圧低温プラズマにより作製したAZO/ZnO膜に対する核生成時スイープ速度の影響
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017)
大気圧低温プラズマを用いて作製したAZO/ZnO膜の水添加による特性変化
(電気関係学会四国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 2017)
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
(応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2017)

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Works (3)：

高度情報化に向けた超極細同軸ケーブルの実用化研究
2003 -
光通信波長多重用ファイバー型デバイスの開発
2001 -
大気圧低温プラズマを用いたZnO透明導電性薄膜の作製
1998 -

Education (4)：

- 1985 Himeji Institute of Technology
- 1985 Himeji Institute of Technology Graduate School, Division of Engineering
- 1980 Himeji Institute of Technology
- 1980 Himeji Institute of Technology Faculty of Engineering

Professional career (1)：

(BLANK)

Association Membership(s) (2)：

電子情報通信学会 , 応用物理学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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