化合物、感光性樹脂組成物およびレジスト膜の形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人有古特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018018988
Publication number (International publication number)：2019137612
Application date： Feb. 06, 2018
Publication date： Aug. 22, 2019
Summary：

【課題】未露光部ではアルカリへの溶解を抑制しながら、露光部では速いアルカリ溶解速度を達成でき、高解像度のポジ型感光性樹脂組成物における溶解抑制剤として作用し得る新規化合物、該化合物を含む感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いたレジスト膜の形成方法の提供。【解決手段】式(1)で表される化合物。ノボラック樹脂、前記化合物、及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を基板上に塗布して、10〜100μmの厚みを有する樹脂膜を形成する工程、該樹脂膜に対して、パターニングマスクを介して活性光線を照射する工程、該樹脂膜にアルカリ液を作用させて露光部を除去して、所定のパターンを有するレジスト膜を形成する工程、を含む、レジスト膜の形成方法。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

下記式(1)で表される化合物。

IPC (4)：

C07C 69/712 , G03F 7/039 , G03F 7/004 , G03F 7/20

FI (4)：

C07C69/712 Z , G03F7/039 601 , G03F7/004 531 , G03F7/20 521

F-Term (21)：

2H197CA02 , 2H197CA03 , 2H197CA05 , 2H197CE10 , 2H197HA03 , 2H225AF82P , 2H225AL03 , 2H225AL17 , 2H225AL22 , 2H225AM80P , 2H225AN39P , 2H225CA12 , 2H225CB05 , 2H225CC03 , 2H225CC16 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB80 , 4H006BJ20 , 4H006BP30 , 4H006KC12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-299093 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感放射線性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-141737 Applicant：富士写真フイルム株式会社
厚膜および超厚膜対応化学増幅型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-373069 Applicant：クラリアントインターナショナルリミテッド

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