Art

J-GLOBAL ID：200902296361666036   Reference number：05A0319469

Subwavelength-Resolution Raman Microscopy of Si Structures Using Metal-Particle-Topped AFM Probe

頂部に金属粒子を有するAFMプローブを用いたSi構造のサブ波長分解能Raman顕微鏡観察

Author (3)： POBORCHII Vladimir (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  TADA Tetsuya (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KANAYAMA Toshihiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 44  Issue： 1-7  Page： L202-L204  Publication year： Feb. 10, 2005 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Raman scattering ,...
Semi thesaurus term： Raman microspectroscopy

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0319469&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

JST classification (2)： Surface structure of semiconductors  (BK15030A) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Substance index (1)： Glycerol

Reference (9)：

• 1) I. De Wolf: Semicond. Sci. Technol. 11 (1996) 139.
• 2) S. Webster, D. N. Batchelder and D. A. Smith: Appl. Phys. Lett. 72 (1998) 1478.
• 3) B. Dietrich, V. Bukalo, A. Fischer, K. F. Dombrowski, E. Bugiel, B. Kuck and H. H. Richter: Appl. Phys. Lett. 82 (2003) 1176.
• 4) L. Novotny, E. J. Sanchez and X. Sunney Xie: Ultamicroscopy 71 (1998) 21.
• 5) M. S. Anderson: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 3130.

Terms in the title (8)： 頂部 ,  金属粒子 ,  AFM ,  プローブ ,  Si ,  サブ ,  Raman顕微鏡 ,  観察