荷電粒子線装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000201443
Publication number (International publication number)：2001084944
Application date： Jun. 29, 2000
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、試料像の全体に亘って焦点が合った像を得ることにあり、全体に亘ってぼけのない2次元像を獲得できる走査電子顕微鏡の提供にある。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号の内、前記荷電粒子線が合焦した部分の信号に基づいて前記荷電粒子線源方向から見た試料の2次元像を合成する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号の内、前記荷電粒子線が合焦した部分の信号に基づいて前記荷電粒子線源方向から見た試料の2次元像を合成する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (8)：

H01J 37/22 502 , G06T 1/00 300 , G06T 1/00 400 , G06T 3/00 300 , H01J 37/21 , H01J 37/28 , H01L 21/66 , H04N 1/387

FI (8)：

H01J 37/22 502 H , G06T 1/00 300 , G06T 1/00 400 D , G06T 3/00 300 , H01J 37/21 B , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , H04N 1/387

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

画像処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-081291 Applicant：ソニー株式会社
映像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-065937 Applicant：大河内禎一
電子線装置および走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-106405 Applicant：株式会社日立製作所

Show all

Return to Previous Page