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J-GLOBAL ID:200903002110228927

高速摺動部材及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 的場 基憲
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005216631
Publication number (International publication number):2007031773
Application date: Jul. 27, 2005
Publication date: Feb. 08, 2007
Summary:
【課題】スティックスリップが生じにくく、摩擦係数を一層低減できる高速摺動部材及びその製造方法を提供すること。【解決手段】表面粗さがRa0.005〜0.1μmである金属部材に粒状突起形状を有するDLC膜が被覆され、この粒状突起の高さが0.02〜0.05μmであり、DLC膜の表面粗さがRsk0〜4μmである高速摺動部材である。DLC膜に水素を10原子%以下の割合で含有する。DLC膜の硬度が70〜90GPaである。 DLCをイオンプレーティング法により被覆し、エアロラップ処理を行い高速摺動部材を製造する。【選択図】なし
Claim (excerpt):
表面粗さがRa0.005〜0.1μmである金属部材に、表面に粒状突起形状を有するダイヤモンドライクカーボン膜が被覆され、この粒状突起の高さが0.02〜0.05μmであり、且つ前記ダイヤモンドライクカーボン膜の表面粗さがRsk0〜4μmであることを特徴とする高速摺動部材。
IPC (2):
C23C 14/06 ,  C01B 31/02
FI (2):
C23C14/06 F ,  C01B31/02 101Z
F-Term (25):
3J030BC03 ,  3J030CA10 ,  4G146AA05 ,  4G146AB07 ,  4G146AC01A ,  4G146AC01B ,  4G146AC23A ,  4G146AC23B ,  4G146AC27A ,  4G146AD26 ,  4G146BA12 ,  4G146BC17 ,  4G146BC23 ,  4G146BC27 ,  4G146DA03 ,  4G146DA17 ,  4K029AA02 ,  4K029BA34 ,  4K029BD04 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC02 ,  4K029DC39 ,  4K029DD06 ,  4K029FA04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (13)
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