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J-GLOBAL ID：200903002206126270

熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線および電極

Inventor：
高山 新司

About 高山 新司

, 
森 曉

About 森 曉

, 
森 理恵

About 森 理恵


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (3)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008025297
Publication number (International publication number)：2009185323
Application date： Feb. 05, 2008
Publication date： Aug. 20, 2009
Summary：
【課題】液晶表示装置の配線および電極を形成するための銅合金薄膜を提供する。【解決手段】Zn:0.05〜5原子%含有し、さらにSi、Ti、YおよびAlの内の1種または2種以上を合計で0.01〜0.5原子%を含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有する銅合金薄膜からなる熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線および電極。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
Zn:0.05〜5原子%含有し、さらにSi、Ti、YおよびAlの内の1種または2種以上を合計で0.01〜0.5原子%を含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有する銅合金薄膜からなることを特徴とする熱欠陥発生がなくかつ密着力に優れた液晶表示装置用配線。
IPC (11)：
C22C 9/04 ,  C22C 9/01 ,  C22C 9/10 ,  C22C 9/00 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52 ,  C23C 14/14 ,  G02F 1/134 ,  G02F 1/136
FI (10)：
C22C9/04 ,  C22C9/01 ,  C22C9/10 ,  C22C9/00 ,  H01L21/285 S ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 M ,  C23C14/14 D ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368
F-Term (31)：
2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092NA25 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA21 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4M104BB04 ,  4M104BB38 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH08 ,  5F033GG04 ,  5F033HH12 ,  5F033LL09 ,  5F033PP15 ,  5F033VV15 ,  5F033XX13 ,  5F033XX16
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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