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J-GLOBAL ID：200903029840796446

液晶ディスプレイパネル及びその製造方法並びにCu合金スパッタリングターゲット

Inventor：
稲生 俊雄

About 稲生 俊雄

, 
市田 正典

About 市田 正典


Applicant, Patent owner：
東ソー株式会社

About 東ソー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006049283
Publication number (International publication number)：2007226058
Application date： Feb. 24, 2006
Publication date： Sep. 06, 2007
Summary：
【課題】熱処理後でもヒロックなどの熱欠陥が発生せず、電気抵抗が低く、さらに、透明導電膜との直接積層が可能な配線材料を提供するとともに、該配線材料からなる配線を具備した大型・高精細の生産性に優れた液晶ディスプレイパネル、及び、本配線を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】配線の少なくともひとつが、添加元素として希土類元素の中から選ばれる少なくとも1種以上の元素を0.01〜1原子%含有し、残部がCu及び不可避的不純物であるCu合金薄膜からなり、かつ、透明導電膜と直接積層した配線構造を有する液晶ディスプレイパネルとする。【選択図】 選択図なし
Claim (excerpt)：
透明導電膜に直接積層された配線を有する液晶ディスプレイパネルであって、前記配線が、希土類元素から選ばれる1種以上の元素を0.01〜1原子%含有し、残部がCu及び不可避的不純物であるCu合金薄膜からなる配線であることを特徴とする液晶ディスプレイパネル。
IPC (9)：
G09F 9/00 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/14 ,  C22C 9/00 ,  C22F 1/08 ,  C22C 29/12 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285 ,  G02F 1/134
FI (9)：
G09F9/00 338 ,  C23C14/34 A ,  C23C14/14 D ,  C22C9/00 ,  C22F1/08 B ,  C22C29/12 Z ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/285 S ,  G02F1/1345
F-Term (34)：
2H092GA25 ,  2H092JA24 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092KB04 ,  2H092MA07 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  4K029AA09 ,  4K029BA21 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC09 ,  4K029DC15 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB38 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD79 ,  4M104GG20 ,  4M104HH03 ,  5G435AA14 ,  5G435AA16 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435HH12 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (11)
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