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J-GLOBAL ID：200903003220875703

走査プローブ顕微鏡および走査プローブ顕微鏡用カン チレバ

Inventor：
末吉 孝

About 末吉 孝


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (1)： 田中 隆秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996225553
Publication number (International publication number)：1998068736
Application date： Aug. 27, 1996
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：
【要約】【課 題】 スキャナの受ける力を少なくしカンチレバの移動と脱着および試料表面とプローブとの接近間隔の確認を容易にすること【解決手段】 試料保持面14cに試料16を保持する試料ホルダ14と、カンチレバ保持面32dを有する透明なカンチレバ保持部材32と、試料ホルダ14およびカンチレバ36を相対的にZ軸方向に微動可能に支持するZ軸微動支持部材12と、前記試料ホルダ14およびカンチレバ36のいずれか一方を前記Z軸と垂直なXY平面内でスキャン可能に支持するXYスキャナ11と、前記試料保持面14cおよびカンチレバ保持面32dの間の空間Sを密封する密封空間形成部材14+28+32b+32dと、前記密封空間Sに対して流体の充填および排出を行う流体充填排出部材29,33と、カンチレバ本体38とプローブ39と基板37とから構成されたカンチレバ36とから構成される走査プローブ顕微鏡。
Claim (excerpt)：
下記の要件を備えたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡、(A01)ホルダ受けに支持される被支持面およびこの被支持面の反対側に配置された試料保持面を有し、前記試料保持面に試料を保持する試料ホルダ、(A02)前記試料保持面に対向してZ軸方向に間隔をおいて配置され、前記試料保持面に対向するカンチレバ保持面を有する透明なカンチレバ保持部材、(A03)前記試料ホルダおよびカンチレバを相対的にZ軸方向に微動可能に支持するZ軸微動支持部材、(A04)前記試料ホルダおよびカンチレバのいずれか一方を前記Z軸と垂直なXY平面内でスキャン可能に支持するXYスキャナ、(A05)前記試料保持面およびカンチレバ保持面の間の空間を密封する密封空間形成部材、(A06)前記カンチレバ保持部材の外周部から前記試料ホルダの外側面に対向する位置に延びる透明なカンチレバ保持部材側筒部材と、このカンチレバ保持部材側筒部材およびホルダ外側面の間に配置されたシール要素とにより構成された前記密封空間形成部材。(A07)前記密封空間に対する流体の充填および排出を行う流体充填排出部材、(A08)カンチレバ本体、前記カンチレバ本体の先端に支持されたプローブ、および前記カンチレバ本体の基端部に固定された基板により構成され、前記カンチレバ保持面に保持されたカンチレバ。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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