共焦点光学装置及び球面収差補正方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎 , 大月伸介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005281757
Publication number (International publication number)：2006153851
Application date： Sep. 28, 2005
Publication date： Jun. 15, 2006
Summary：

【課題】球面収差の発生を低減した共焦点光学装置及び球面収差補正方法を提供する。【解決手段】対物レンズ5と試料台との間隔を変えるように試料台7を移動させる駆動機構8と、光源1と対物レンズ5との間に配置された球面収差補正素子4と、光検出器による検出結果に基づいて、対物レンズ5の焦点位置が試料の表面に合うときの試料台の位置を検出する基準位置検出部15と、光検出器12による検出結果に基づいて、対物レンズ5の焦点位置が試料内における測定対象に合うまでの試料台7の移動量を演算し、測定対象の試料内深さを導出する移動量導出部16と、測定対象の試料内深さに応じて、球面収差補正素子4を制御する補正制御部17とを備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光源から出射された光を対物レンズによって試料台上の試料内部に集光させるとともに、前記試料からの反射光を検出レンズによって集光してピンホールを通過させて、光検出器で検出する共焦点光学装置であって、前記対物レンズと前記試料台との間隔を変えるように前記対物レンズ及び前記試料台の一方を移動させる駆動機構と、前記光源と前記対物レンズとの間に配置された球面収差補正部と、前記光検出器による検出結果に基づいて、前記対物レンズの焦点位置が前記試料の表面に合うときの前記対物レンズ又は前記試料台の位置を検出する基準位置検出部と、前記光検出器による検出結果に基づいて、前記対物レンズの焦点位置が前記試料内における測定対象に合うまでの前記対物レンズ又は前記試料台の移動量を演算し、前記測定対象の試料内深さを導出する移動量導出部と、前記測定対象の試料内深さに応じて、前記球面収差補正部を制御する補正制御部とを備えている共焦点光学装置。

IPC (3)：

G01B 11/06 , G01M 11/02 , G01B 11/24

FI (3)：

G01B11/06 Z , G01M11/02 B , G01B11/24 A

F-Term (15)：

2F065AA25 , 2F065AA30 , 2F065AA53 , 2F065BB03 , 2F065BB17 , 2F065BB22 , 2F065CC03 , 2F065EE08 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065LL30 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065QQ13 , 2G086HH06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

共焦点光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-297161 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Cited by examiner (9)

光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-132994 Applicant：オリンパス株式会社
光学式非接触厚み測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-195782 Applicant：精電舎電子工業株式会社
球面収差補正光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-044878 Applicant：株式会社ニコン

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