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J-GLOBAL ID：200903005710921714

感放射線組成物

Inventor：
塚本 美智徳

About 塚本 美智徳

, 
遠洞 典子

About 遠洞 典子


Applicant, Patent owner：
三菱化学株式会社

About 三菱化学株式会社


Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997173767
Publication number (International publication number)：1999024247
Application date： Jun. 30, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：
【要約】【課題】 LSI、超LSI製造のフォトリソグラフィ技術に用いられる感放射線組成物において、高感度で高解像性であり、同一露光量で露光の際に密集ラインと孤立ラインが同時に規定の線幅通りに解像できる等、優れた感放射線組成物を提供する。【解決手段】 下記構造単位(I)を含む樹脂A、下記構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、R4及びR5はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上10以下のアルキル基を表し、R6及びR10はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下のアルキル基を表す。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)及び放射線により酸を発生する化合物Cを含有してなる感放射線組成物において、樹脂Bの重量平均分子量が500〜4,000である感放射線組成物。
Claim (excerpt)：
下記構造単位(I)を含む樹脂A、下記構造単位(II)を含む樹脂B、【化1】(ただし、R1、R2、R3、R7、R8、及びR9はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上4以下のアルキル基を表し、R4及びR5はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上10以下のアルキル基を表し、R6及びR10はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下のアルキル基を表す。また、R4とR5あるいはR4とR6とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)及び放射線により酸を発生する化合物Cを含有してなる感放射線組成物において、樹脂Bの重量平均分子量が500〜4,000であることを特徴とする感放射線組成物。
IPC (7)：
G03F 7/004 503 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C09D125/18 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08F 8/00
FI (7)：
G03F 7/004 503 A ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/18 ,  C09D125/18 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 8/00 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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