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J-GLOBAL ID:200903011532249489

磁気抵抗効果膜及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福森 久夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999012015
Publication number (International publication number):2000216020
Application date: Jan. 20, 1999
Publication date: Aug. 04, 2000
Summary:
【要約】【課題】 抵抗変化率を低下させることなく、交換バイアス磁界が大きく、温度特性に優れた固定磁化層/反強磁性体層からなる交換結合膜を備えた磁気抵抗効果膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る磁気抵抗効果膜は、自由磁化層、非磁性体層、固定磁化層及び反強磁性体層から構成され、前記固定磁化層の磁化方向は前記反強磁性体層との交換結合により固定され、前記自由磁化層の磁化方向は外部磁場に対して自由に回転し、該自由磁化層と該固定磁化層における磁化の向きのなす角度によって磁気抵抗効果を生ずる磁気抵抗効果膜において、前記反強磁性体層の結晶粒径が、自由磁化層、非磁性体層及び少なくとも固定磁化層の一部の結晶粒径より大きいことを特徴とする。
Claim (excerpt):
自由磁化層、非磁性体層、固定磁化層及び反強磁性体層から構成され、前記固定磁化層の磁化方向は前記反強磁性体層との交換結合により固定され、前記自由磁化層の磁化方向は外部磁場に対して自由に回転し、該自由磁化層と該固定磁化層における磁化の向きのなす角度によって磁気抵抗効果を生ずる磁気抵抗効果膜において、前記反強磁性体層の結晶粒径が、自由磁化層、非磁性体層及び少なくとも固定磁化層の一部の結晶粒径より大きいことを特徴とする磁気抵杭効果膜。
IPC (3):
H01F 10/32 ,  C23C 14/34 ,  H01L 43/08
FI (3):
H01F 10/08 A ,  C23C 14/34 M ,  H01L 43/08 Z
F-Term (17):
4K029BA21 ,  4K029BA22 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029EA03 ,  5E049AA07 ,  5E049AA09 ,  5E049AA10 ,  5E049AC00 ,  5E049BA12 ,  5E049BA16 ,  5E049EB01 ,  5E049GC04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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