電子放出源の製造方法及び電子放出源

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大塚秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999118462
Publication number (International publication number)：2000277003
Application date： Mar. 23, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】製造が容易で電子放出特性に優れた電子放出源の製造方法及び電子放出源を提供すること。【解決手段】チャンバ101を圧力1PaのHe雰囲気にして、直流100Aのアーク電流を流して1秒間アーク放電させて、陰極102を局所的に加熱させると、陰極102を構成する陰極材料が飛散して、表面に多数のカーボンナノチューブが形成されたカーボン粒子が生じる。前記カーボン粒子を収集して、電子放出源のエミッタとして使用する。

Claim (excerpt)：

電子を放出する電子放出材料をエミッタとして複数の電極間に配設して成る電子放出源の製造方法において、所定ガス圧10Torrから10-6Torrの雰囲気中で、グラファイトまたは所定の触媒金属を含有するグラファイトからなる固体または粉末材料をプラズマ中で加熱させることにより、カーボンナノチューブ、ナノカプセルまたはフラーレンあるいはこれらの中のいずれかの混合物を含む電子放出材料を生成し、前記電子放出材料を、絶縁体、半導体または金属導体からなる基板上に被着させて、エミッタとして使用することを特徴とする電子放出源の製造方法。

IPC (2)：

H01J 9/02 , H01J 1/304

FI (2)：

H01J 9/02 B , H01J 1/30 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

電子放出膜および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-281404 Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
炭素超微粒子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-022091 Applicant：ソニー株式会社
発光体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-297440 Applicant：ソニー株式会社

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