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J-GLOBAL ID：200903014663661279

太陽電池の製造方法

Inventor：
高橋 明久

About 高橋 明久

, 
石橋 暁

About 石橋 暁


Applicant, Patent owner：
株式会社アルバック

About 株式会社アルバック


Agent (2)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008013679
Publication number (International publication number)：2009176927
Application date： Jan. 24, 2008
Publication date： Aug. 06, 2009
Summary：
【課題】酸化亜鉛系の材料を用いて形成された、太陽電池の上部電極をなす透明導電膜の表面抵抗を低下させるとともに、可視光線の透過性を良好に保ち、光電変換効率を向上させた太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛系材料からなるターゲットを用いて、スパッタ法により基板上に酸化亜鉛系の透明導電膜を成膜することにより中間電極やバッファ層を形成する工程を備え、この中間電極やバッファ層の形成工程では、水素ガス、酸素ガス、水蒸気の群から選択される2種または3種を含む雰囲気中にてスパッタを行う。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
光入射側の反対側で電力取り出し電極として機能する裏面電極と光発電セルとの間に配置されたバッファ層、または複数の光発電セルの間に配置された中間電極とを備え、 前記バッファ層および/または前記中間電極が、酸化亜鉛を基本構成材料とする透明導電膜からなる太陽電池の製造方法であって、 酸化亜鉛系材料からなるターゲットを用いて、スパッタ法により基板上に酸化亜鉛系の透明導電膜を成膜することにより前記バッファ層および/または前記中間電極を形成する工程を備え、 前記バッファ層および/または前記中間電極の形成工程では、水素ガス、酸素ガス、水蒸気の群から選択される2種または3種を含む雰囲気中にてスパッタを行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。
IPC (3)：
H01L 31/04 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34
FI (3)：
H01L31/04 M ,  C23C14/08 C ,  C23C14/34 R
F-Term (23)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029DC40 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029EA09 ,  5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051BA11 ,  5F051BA16 ,  5F051CB15 ,  5F051CB29 ,  5F051DA04 ,  5F051DA18 ,  5F051FA02 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 透明導電膜の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-248021   Applicant：旭硝子株式会社
Cited by examiner (5)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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