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J-GLOBAL ID：200903015383398200

加速度センサ及びその製造方法

Inventor：
小澤 信男

About 小澤 信男


Applicant, Patent owner：
沖電気工業株式会社

About 沖電気工業株式会社


Agent (1)： 大西 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004166007
Publication number (International publication number)：2005345294
Application date： Jun. 03, 2004
Publication date： Dec. 15, 2005
Summary：
【課題】小型化が進むMEMS技術において、錘の質量のみよらず感度を向上させるとともに耐衝撃性に優れた加速度センサを製造する。【解決手段】本発明の加速度センサは、台座部と、台座部内に台座部と離間して配置される錘部と、台座部の上面と錘部の上面を可撓的に接続する梁部と、錘部の上方には位置され錘部の垂直方向の変位量を制限するストッパー部とを有し、梁部の厚みがストッパー部の厚みよりも薄くする。さらに、より耐衝撃性を向上させる加速度センサのストッパー部の形状、より感度を向上させる梁部の形状に関しても開示する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
枠状に形成された台座部と、 前記台座部の内側であって該台座部とは離間して配置される錘部と、 前記台座部の上部及び前記錘部の上部に亘って配置される可撓的な梁部と、 前記台座部に配置されかつ前記錘部とは離間して該錘部上に配置されるストッパー部であって、該錘部の該ストッパー方向への変位量を制限するストッパー部と、 を具えた加速度センサであって、 前記梁部の厚みは前記ストッパー部の厚みよりも薄いことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3)：
G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84
FI (3)：
G01P15/12 D ,  H01L29/84 A ,  G01P15/00 K
F-Term (15)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA11 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (3)

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