電子源アレイ及びその製造方法並びに電子源アレイの駆動方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000219621
Publication number (International publication number)：2001101966
Application date： Jul. 19, 2000
Publication date： Apr. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】高精度なパターニング技術を用いずに、非常に微細なエミッタを均一に形成し、更にX-Yマトリクス駆動が可能な電子源アレイを提供する。【解決手段】絶縁性の基板1上にライン状に配置されたカソード電極配線2と、絶縁性膜4を挟んで対向配置されたゲート電極配線7とを具備する電子源アレイであって、前記カソード電極配線2と前記ゲート電極配線7の交差部分に、絶縁性膜4中に貫通して形成された細孔5を具備し、該細孔5中に導電性材料または半導体材料が充填され、かつ該材料が前記カソード電極配線2と電気的に接続されており、前記ゲート電極配線7とは空間を隔てて形成されている構造である。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上にライン状に配置されたカソード電極と、絶縁性膜を挟んで対向配置されたゲート電極とを具備する電子源アレイであって、前記カソード電極と前記ゲート電極の交差部分に、絶縁性膜中に貫通して形成された細孔を具備し、該細孔中に導電性材料または半導体材料が充填され、かつ該材料が前記カソード電極と電気的に接続されており、前記ゲート電極とは空間を隔てて形成されていることを特徴とする電子源アレイ。

IPC (6)：

H01J 1/304 , G09G 3/20 680 , G09G 3/22 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (6)：

G09G 3/20 680 H , G09G 3/22 E , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

粒子放出装置、電界放出型装置及びこれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-275932 Applicant：ソニー株式会社
電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-249096 Applicant：株式会社東芝
粒子放出装置、電界放出型装置及びこれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-087546 Applicant：ソニー株式会社

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