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J-GLOBAL ID：200903016087549550

針状体の製造方法

Inventor：
木下 拡充

About 木下 拡充

, 
窪田 健太郎

About 窪田 健太郎


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Agent (1)： 野田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006209533
Publication number (International publication number)：2008035874
Application date： Aug. 01, 2006
Publication date： Feb. 21, 2008
Summary：
【課題】先端部の角度を自由に選択可能であり、例えば先端部の角度を小さくし、穿刺抵抗を少なくすることのできる微細な針状体の製造方法を提供すること。【解決手段】アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体1の製造方法であって、(1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、(2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111)面である上部斜面を形成する工程と、を有してなることを特徴とする針状体1の製造方法。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体の製造方法であって、 (1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、 (2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111) 面である上部斜面を形成する工程と、 を有してなることを特徴とする針状体の製造方法。
IPC (5)：
A61M 37/00 ,  A61M 5/32 ,  A61L 31/00 ,  B29C 59/02 ,  B81C 1/00
FI (5)：
A61M37/00 ,  A61M5/32 ,  A61L31/00 P ,  B29C59/02 B ,  B81C1/00
F-Term (54)：
3C081AA17 ,  3C081BA08 ,  3C081BA72 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA35 ,  3C081DA03 ,  3C081DA10 ,  3C081EA39 ,  4C066AA09 ,  4C066BB01 ,  4C066CC01 ,  4C066FF03 ,  4C066KK02 ,  4C066KK03 ,  4C066LL16 ,  4C081AC06 ,  4C081AC09 ,  4C081BA13 ,  4C081BA15 ,  4C081BB06 ,  4C081BB07 ,  4C081CA171 ,  4C081CB012 ,  4C081CE02 ,  4C081DA01 ,  4C081DA04 ,  4C081DB07 ,  4C081EA02 ,  4C081EA03 ,  4C167AA71 ,  4C167BB02 ,  4C167BB04 ,  4C167BB05 ,  4C167BB23 ,  4C167BB25 ,  4C167BB39 ,  4C167BB40 ,  4C167CC01 ,  4C167CC05 ,  4C167GG21 ,  4C167GG26 ,  4F209AA01 ,  4F209AA24 ,  4F209AD08 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH63 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PQ11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (5)
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