光変調デバイス及び表示装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：栗原浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999280275
Publication number (International publication number)：2001100119
Application date： Sep. 30, 1999
Publication date： Apr. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】曲率変化を向上すると共に集光性能を向上した光変調デバイス及び表示装置を提供する。【解決手段】圧電体層33及びこれを挟持する一対の電極32,34からなる圧電素子30を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素20と、該ミラー要素20に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、前記ミラー要素20を当該ミラー要素20の中心を挟んで面内方向に沿って相対向する外縁部の二点の支持部20a,20bで基板11に支持することにより、曲率変化が向上する。

Claim (excerpt)：

圧電体層及びこれを挟持する一対の電極からなる圧電素子を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素と、該ミラー要素に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、前記ミラー要素は、当該ミラー要素の中心を挟んで面内方向に沿って相対向する外縁部の二点の支持部で基板に支持されていることを特徴とする光変調デバイス。

F-Term (6)：

2H041AA04 , 2H041AB12 , 2H041AB38 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

DMDのアナログ走査変換器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-169165 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
空間光変調器とその製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-187098 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開平3-225314

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