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J-GLOBAL ID：200903018064474407

半導体装置の信頼性シミュレーション方法及び信頼性シミュレータ

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Inventor： 小池 典雄
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (10)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004327923
Publication number (International publication number)：2006140284
Application date： Nov. 11, 2004
Publication date： Jun. 01, 2006
Summary：

【課題】 高精度のNBTI寿命モデルおよびTDDB寿命モデルを新たに作成し、該モデルを使用することにより、高精度で応用範囲の広いNBTI劣化シミュレーションおよびTDDB故障シミュレーションを実現する。 【解決手段】 半導体装置を構成するMOSトランジスタのNBTI劣化の予測値に基づき半導体装置の信頼性シミュレーションを行う際に、MOSトランジスタに対する累積NBTIストレス量を表すパラメータAgeを、Age=C・∫[(Ih/Area)m ]dt(但し、IhはMOSトランジスタのゲート絶縁膜を流れる正孔電流であり、AreaはMOSトランジスタのゲート面積であり、tはNBTIストレス時間であり、mはモデルパラメータであり、Cは比例定数である)で表されるモデル式を用いて算出する。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

半導体装置を構成するMOSトランジスタのNBTI劣化の予測値に基づいて前記半導体装置の信頼性シミュレーションを行う方法であって、 前記MOSトランジスタに対する累積NBTIストレス量を表すパラメータAgeを、 Age=C・∫[(Ih/Area)m ]dt (但し、Ihは前記MOSトランジスタのゲート絶縁膜を流れる正孔電流であり、Areaは前記MOSトランジスタのゲート面積であり、tはNBTIストレス時間であり、mはモデルパラメータであり、Cは比例定数である)で表されるモデル式を用いて算出することを特徴とする半導体装置の信頼性シミュレーション方法。

IPC (7)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  G06F 17/50 ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/82 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04

FI (6)：

H01L29/78 301Z ,  G06F17/50 666Y ,  H01L21/00 ,  H01L21/82 C ,  H01L21/82 T ,  H01L27/04 T

F-Term (13)：

5B046AA08 ,  5B046BA03 ,  5B046JA03 ,  5B046JA04 ,  5F038AV06 ,  5F038EZ09 ,  5F038EZ10 ,  5F038EZ20 ,  5F064HH06 ,  5F064HH09 ,  5F140AA39 ,  5F140DB04 ,  5F140DB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 信頼性評価シミュレータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-226186   Applicant：株式会社東芝
• 半導体装置特性シミュレーション方法及び半導体装置特性シミュレータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-368046   Applicant：ソニー株式会社
• 半導体装置の寿命推定方法および信頼性シミュレーション方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-151446   Applicant：松下電器産業株式会社