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J-GLOBAL ID：200903019847213190

基板検査装置

Inventor：
高橋 武博

About 高橋 武博


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000072848
Publication number (International publication number)：2001266125
Application date： Mar. 15, 2000
Publication date： Sep. 28, 2001
Summary：
【要約】【課題】自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にすること。【解決手段】画像取込部1において液晶ディスプレイに用いられるガラス基板3を撮像して取得された干渉画像データ、回折画像データを画像表示用ディスプレイ14の画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画像に対してキーボード11又はマウス12の操作により欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠陥情報、例えば傷、異物、むら、汚れが欠陥登録部19により欠陥情報メモリ20に登録され、この登録された欠陥情報に基づいて基板判定部22によりガラス基板3の良否判定を行い、さらに画像処理部16によって欠陥情報を干渉画像データ又は回折画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示する。
Claim (excerpt)：
被検査体を撮像して取得された複数種類の画像データをディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、前記ディスプレイ画面上に表示される各種画像に対して欠陥部分が指示されると、この指示された前記欠陥部分の欠陥情報を登録する欠陥登録手段と、この欠陥登録手段により登録された各種画像に対応する前記欠陥情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表示する合成表示手段と、前記欠陥登録手段により登録された前記欠陥情報に基づいて前記被検査体の良否判定を行う判定手段と、を具備したことを特徴とする基板検査装置。
IPC (5)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/958
FI (6)：
G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/958 ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K
F-Term (51)：
2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065AA61 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR05 ,  2F065RR06 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT08 ,  2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051FA01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA23 ,  5B057BA24 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE08 ,  5B057CH12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
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