パターンを有する部材の製造方法、パターン転写装置及びモールド

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長尾達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006114103
Publication number (International publication number)：2007019466
Application date： Apr. 18, 2006
Publication date： Jan. 25, 2007
Summary：

【課題】ワークの外周領域にも凹凸パターンを適切に形成することが可能となるパターンを有する部材の製造方法、パターン転写装置及びモールドを提供する。【解決手段】モールドが有するパターン形状を被加工物(ワーク、あるいはウエハ)に転写するにあたり、平板状部材103の周辺領域の内側にパターンを形成するための第1のモールド105を保持するための第1のモールド保持部155と、該周辺領域にパターンを形成するための第2のモールド108を保持するための第2のモールド保持部158と、を備えた構成とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

パターンを有する部材の製造方法において、表面に第1のパターンを有する第1のモールドを用意し、該第1のパターンの外周部に対応した形状の外周部を含み構成される第2のパターンを有する第2のモールドを用意し、該第1のモールドが有する該第1のパターンの全面を転写できないエリアである該部材の周辺領域には該第2のパターンを転写し、該周辺領域の内側には、該第1のパターンを転写することを特徴とするパターンを有する部材の製造方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 , B82B 3/00 , B29C 59/02

FI (3)：

H01L21/30 502D , B82B3/00 , B29C59/02 B

F-Term (12)：

4F209AC05 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F046AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-346898 Applicant：株式会社東芝
パターン形成方法及び半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-084514 Applicant：株式会社東芝
パターニングされた素子の繰り返しアレイに不規則性を導入する多段階処理
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2006-535575 Applicant：インテルコーポレイション

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