三極管カーボンナノチューブ電界放出アレイの製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002000681
Publication number (International publication number)：2002245928
Application date： Jan. 07, 2002
Publication date： Aug. 30, 2002
Summary：

【要約】【課題】低電圧電界放出物質のカーボンナノチューブを利用した電界放出アレイの製造方法を提供する。【解決手段】背面露光法による三極管カーボンナノチューブ電界放出アレイの製造方法を提供して別のマスク層を使用せずに工程上に製造される薄膜層自体をマスク層として使用することによって少数のマスク層を使用して三極管構造のカーボンナノチューブ電界放出アレイを容易に製造できる。

Claim (excerpt)：

三極管カーボンナノチューブ電界放出アレイの製造方法において、(a) 透明電極を成膜した透明基板上部に導電性薄膜層を形成するとともに、上記透明電極の所定部位を露出させる段階と、(b) 上記透明電極の露出した所定部位に不透明薄膜層を形成する段階と、(c) 上記透明基板上面部を絶縁物質で全面被覆し、上記導電性薄膜層及び上記不透明薄膜層上面部の絶縁物質を除去して絶縁層を形成する段階と、(d) 上記絶縁層上部にゲート層を形成する段階と、(e) 上記不透明薄膜層を除去した後、上記露出した透明電極上部にカーボンナノチューブチップを形成する段階とよりなることを特徴とする三極管カーボンナノチューブ電界放出アレイの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平3-190034
電子放出用冷陰極の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-259044 Applicant：大日本印刷株式会社
電子放出素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-259045 Applicant：大日本印刷株式会社

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