冷陰極及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999320030
Publication number (International publication number)：2001143601
Application date： Nov. 10, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】 XYアドレス可能な、高耐熱性の基板を有する、信頼性の高い冷陰極及びその製造方法を提供する。【解決手段】セラミック材料からなる支持基板1とゲート絶縁層3の間にカソード電極2が埋め込まれ、前記ゲート絶縁層3上にゲート電極5が配設され、前記ゲート電極5と前記ゲート絶縁層3に前記カソード電極2上に開口したホール15が形成され、該ホール15内部に前記カソード電極2に形成された電子源4が充填されている。

Claim (excerpt)：

セラミック材料からなる支持基板とゲート絶縁層の間にカソード電極が埋め込まれ、前記ゲート絶縁層上にゲート電極が配設され、前記ゲート電極と前記ゲート絶縁層に対して前記カソード電極上に開口したホールが形成され、該ホール内部に前記カソード電極に形成された電子源が充填されていることを特徴とする冷陰極。

IPC (4)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

F-Term (8)：

5C031DD17 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG02 , 5C036EG12 , 5C036EH26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

冷陰極装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-292382 Applicant：日本電気株式会社
電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-249096 Applicant：株式会社東芝
電子放出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-015629 Applicant：株式会社リコー

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