Pat
J-GLOBAL ID：200903023399520067

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
渡辺 和俊

About 渡辺 和俊


Applicant, Patent owner：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

About エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社


Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005072260
Publication number (International publication number)：2006258429
Application date： Mar. 15, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：
【課題】 漏れ光の影響を受けることなく、試料の電気的物性を高精度に測定すること。【解決手段】 先端に探針2を有するカンチレバー3と、該カンチレバー3を支持する支持部4と、カンチレバー3の変位量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子5とを有する自己検知型プローブ6と、ピエゾ抵抗素子5を流れる電流値を検出してカンチレバー3の変位量を検出する検出手段と、試料を載置する試料台と探針2とを、XY方向及びZ方向に相対移動させる移動手段と、探針2と試料表面との距離が一定になるように移動手段を制御すると共に試料Sの表面形状を測定する制御手段と、探針2と試料表面との間に所定の電圧を印加する印加手段と、印加された電圧に起因する電気物性情報を測定する測定手段とを備え、探針2が、カンチレバー3の基端側まで延びると共に測定手段に電気的接続可能な導電膜28に電気的に接続されている走査型プローブ顕微鏡を提供する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
導電性を有する探針を試料表面に接触又は近接させた状態で、試料の電気物性情報を測定する走査型プローブ顕微鏡であって、 前記探針が先端に設けられたカンチレバーと、該カンチレバーの基端側を片持ち状態に支持する支持部と、カンチレバーに設けられ、該カンチレバーの変位量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子とを有する自己検知型プローブと、 前記ピエゾ抵抗素子に所定の電圧を印加すると共に、ピエゾ抵抗素子を流れる電流値を検出して前記カンチレバーの変位量を検出する検出手段と、 前記探針に対して対向配置された前記試料を載置する試料台と、 該試料台と前記探針とを、前記試料表面に平行なXY方向及び試料表面に垂直なZ方向に相対移動させる移動手段と、 前記検出手段の検出結果に基づいて、前記探針と前記試料表面との距離が一定になるように前記移動手段を制御すると共に前記試料の表面形状を測定する制御手段と、 前記探針と前記試料表面との間に所定の電圧を印加する印加手段と、 該印加手段により印加された電圧に起因する前記電気物性情報を測定する測定手段とを備え、 前記探針は、前記カンチレバーの基端側まで延びると共に前記測定手段に電気的接続可能な導電膜に電気的に接続されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/20
FI (3)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30 ,  G01N13/20 A
F-Term (10)：
2F069AA60 ,  2F069DD08 ,  2F069GG00 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ02 ,  2F069MM04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM