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J-GLOBAL ID：200903055947312809

散乱型近接場顕微鏡および散乱型近接場分光システム

Inventor：
伊與木 誠人

About 伊與木 誠人

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岩佐 真行

About 岩佐 真行

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白川部 喜春

About 白川部 喜春

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高橋 寛

About 高橋 寛


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002265717
Publication number (International publication number)：2004101425
Application date： Sep. 11, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：
【課題】散乱型近接場顕微鏡において、従来の技術よりも、S/N比とコントラストの向上をはかるとともに、非透過性のサンプルのサンプル測定を行う場合の後方散乱成分の集光も効率的に行える散乱型近接場顕微鏡および散乱型近接場分光システムを提供する。【解決手段】自己検知型のカンチレバーを利用して散乱型近接場顕微鏡を構成し、エバネッセント光を散乱させるための金属または誘電体をカンチレバーに設けられた探針の最先端部付近にのみ設けるとともに、探針先端で後方散乱され、集光手段で集光される光の一部または全部がカンチレバーを透過して集光されるように、カンチレバーの一部または全部を光学的に透明な材料で構成した。【選択図】 図9
Claim (excerpt)：
探針構造を有するカンチレバーと、該カンチレバーを保持するためのカンチレバーホルダと、前記探針に対向する位置に配置され、サンプルの保持を行うサンプルホルダと、前記カンチレバーの撓み量を検出するための撓み量検出手段と、探針とサンプル間の距離を調整するための微動手段と、探針とサンプルを2次元平面内で相対的に移動させるスキャナと、前記撓み量検出手段からの信号を基に前記微動機構を動作させて、探針とサンプル間の距離の調整を行うためのサーボ回路と、サンプル表面にエバネッセント光を発生させるエバネッセント光発生手段と、サンプル表面に発生したエバネッセント光に探針を近接させた際に発生する散乱光を集光するための集光手段と、散乱光の強度を測定するための光検出部とを有し、前記撓み量検出手段は、カンチレバー構造の一部に設けられていることを特徴とする散乱型近接場顕微鏡。
IPC (3)：
G01N13/14 ,  G01B7/16 ,  G12B21/06
FI (3)：
G01N13/14 B ,  G01B7/18 A ,  G12B1/00 601C
F-Term (8)：
2F063AA25 ,  2F063BA30 ,  2F063CA08 ,  2F063DA05 ,  2F063DC08 ,  2F063EC00 ,  2F063EC25 ,  2F063LA27
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (19)
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Cited by examiner (13)
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