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J-GLOBAL ID：200903024385488450

サンプルを含む流体のSEM検査のための方法

Inventor： ベハー,ベレッド ,  ネチュスタン,アモッツ ,  クリーガー,ヨーゼフ ,  ギレアーディ,オファー
Applicant, Patent owner： クアントミックス・リミテッド
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  宮前 徹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004511867
Publication number (International publication number)：2005529341
Application date： Jun. 01, 2003
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【解決手段】 湿った環境でサンプルを視覚化する方法は、サンプルを湿った環境の標本エンクロージャ内に導入し、走査型電子顕微鏡において該標本エンクロージャ内の該サンプルを走査し、これにより、該サンプルを視覚化する、各工程を備える。

Claim (excerpt)：

湿った環境でサンプルを視覚化する方法であって、 サンプルを湿った環境の標本エンクロージャ内に導入し、 走査型電子顕微鏡において前記標本エンクロージャ内の前記サンプルを走査し、これにより、該サンプルを視覚化する、各工程を備える、方法。

IPC (6)：

G01N23/203 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28

FI (7)：

G01N23/203 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 A ,  H01J37/22 502A ,  H01J37/22 502F ,  H01J37/252 A ,  H01J37/28 B

F-Term (19)：

2G001AA03 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001HA07 ,  2G001JA13 ,  2G001KA12 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  5C001AA01 ,  5C001BB03 ,  5C001CC04 ,  5C033PP02 ,  5C033PP05 ,  5C033PP06 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (32)

• 米国特許番号3,218,459
  
• 米国特許番号4,705,949
  
• 米国特許番号4,720,622
  
• 米国特許番号4,720,633
  
• 米国特許番号4,880,976
  
• 米国特許番号4,929,041
  
• 米国特許番号4,992,662
  
• 米国特許番号5,103,102
  
• 米国特許番号5,250,808
  
• 米国特許番号5,323,441
  
• 米国特許番号5,326,971
  
• 米国特許番号3,378,684
  
• 米国特許番号5,362,964
  
• 米国特許番号5,406,087
  
• 米国特許番号5,412,211
  
• 米国特許番号5,811,803
  
• 米国特許番号5,898,261
  
• 米国特許番号5,945,672
  
• 米国特許番号6,025,592
  
• 米国特許番号6,072,178
  
• 米国特許番号6,114,695
  
• 米国特許番号6,130,434
  
• 米国特許番号4,037,109
  
• 米国特許番号6,365,898
  
• 米国特許番号6,452,177
  
• PCT国際公開出願番号 WO02/14830- PCT/IL01/00764.
  
• 米国特許番号4,071,766
  
• 米国特許番号4,115,689
  
• 米国特許番号4,448,311
  
• 米国特許番号4,587,666
  
• 米国特許番号4,596,928
  
• 米国特許番号4,618,938
  

Cited by examiner (13)

• 特開昭51-042461
  
• 環境制御型走査型透過電子線観察装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-083563   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭47-024960
  
• 特開昭53-120258
  
• 電子顕微鏡等の試料ホルダ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-005828   Applicant：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社
• 走査電子顕微鏡の試料ホルダ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-263273   Applicant：キヤノン株式会社
• 走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-547196   Applicant：エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
• 特開昭51-042461
  
• 特開昭47-024960
  
• 特開昭53-120258
  
• カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-334389   Applicant：株式会社ユニソク
• ガス雰囲気試料ホルダ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-305972   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭47-024961
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• CL測定用TEM試料ホルダーの開発と応用
• CL測定用TEM試料ホルダーの開発と応用