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J-GLOBAL ID：200903026473276172

製造装置、発光装置、および有機化合物を含む層の作製方法

Inventor：
山崎 舜平

About 山崎 舜平

, 
村上 雅一

About 村上 雅一

, 
桑原 秀明

About 桑原 秀明


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003304398
Publication number (International publication number)：2004111386
Application date： Aug. 28, 2003
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：
【課題】 本発明は、EL材料の利用効率を高め、且つ、EL層成膜の均一性やスループットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。【解決手段】本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器911を6個設置した蒸着源ホルダ903が、基板に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うことを特徴とする。また、蒸着ホルダ903には搬送機構902bにより設置室905から搬送する。回転台907はヒーターを内蔵しており、蒸着ホルダ903に搬送する前に加熱しておくことでスループットを向上させることができる。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有する製造装置であって、 前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記蒸着源ホルダは蒸着材料が封入された容器と、前記容器を加熱する手段と、前記容器上に設けられたシャッターと、を有し、 前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有することを特徴とする製造装置。
IPC (4)：
H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14
FI (4)：
H05B33/10 ,  C23C14/24 C ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A
F-Term (24)：
3K007AB11 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB02 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BA41 ,  4K029BA46 ,  4K029BA58 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029CA15 ,  4K029DA12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029HA01 ,  4K029KA09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (9)
  • 成膜装置及び成膜方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-394259   Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
  • 有機薄膜形成装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-019292   Applicant：アネルバ株式会社
  • 真空蒸着装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-237206   Applicant：石川島播磨重工業株式会社
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