Pat
J-GLOBAL ID：200903027456362916

ステージ装置及び露光装置

Inventor：
柴崎 祐一

About 柴崎 祐一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003098464
Publication number (International publication number)：2004311459
Application date： Apr. 01, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：
【課題】シンプルな構造で、ステージに保持される物体の高精度な位置制御を実現する。【解決手段】ステージWST1に接続された複数の可動子44A〜44Fと所定の一軸方向に沿って配設された複数の固定子46A〜46Fとを有する駆動装置DAにより、ステージに2次元面に平行な駆動力を作用させて、ステージを2次元面内方向及び該2次元面に対する傾斜方向に駆動する。これにより、従来のように、2次元移動ステージと、該ステージ上で前記傾斜方向に移動可能なテーブルとを有する構成を採用しなくとも、ステージを2次元面内方向及び傾斜方向に移動することができるので、ステージを簡素な一体物で構成することができる。従って、従来問題となっていた2次元移動ステージとテーブルとの組み合わせに起因するテーブルの位置制御性の低下現象と同様の要因によりステージの位置制御性が低下するおそれもない。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
物体を保持し、少なくとも重力方向に直交する2次元面内方向及び該2次元面に対する傾斜方向に移動可能なステージと; 前記ステージに接続された複数の可動子と、前記2次元面内の所定の一軸方向に沿って配設された複数の固定子とを有し、前記2次元面に平行な方向の駆動力により前記ステージを駆動する駆動装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (2)：
H01L21/68 ,  H01L21/027
FI (3)：
H01L21/68 K ,  H01L21/68 F ,  H01L21/30 503A
F-Term (22)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM