カーボンファイバー、電子放出素子、電子源、画像形成装置、ライトバルブ、二次電池の製造方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：渡辺敬介 , 山口芳広
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004058674
Publication number (International publication number)：2004307324
Application date： Mar. 03, 2004
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】熱CVD法により触媒を介してカーボンファイバーを成長させるカーボンファイバーの製造方法において、基板上の成長位置、成長面積によらずに均一な膜厚のカーボンファイバーが得られる製造方法を提供する。【解決手段】触媒層を形成した基板を反応容器内に配置し、該反応容器内の雰囲気を、分圧が10Pa以下の炭素含有ガスを含む減圧雰囲気として上記基板を加熱し、触媒層上にカーボンファイバーを成長させる。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

熱CVD法を用いたカーボンファイバーの製造方法であって、触媒層がその表面に配置された基板を、炭素含有ガスを含む減圧雰囲気中において、加熱し、上記触媒層よりカーボンファイバーを成長させる工程を少なくとも有しており、前記炭素含有ガスの分圧が、前記減圧雰囲気の全圧の1/1000以下であり、且つ、10Pa以下であることを特徴とするカーボンファイバーの製造方法。

IPC (3)：

C01B31/02 , C23C16/04 , H01J9/02

FI (4)：

C01B31/02 101F , C01B31/02 101Z , C23C16/04 , H01J9/02 B

F-Term (43)：

4G146AA01 , 4G146AA02 , 4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AB07 , 4G146AD23 , 4G146AD24 , 4G146AD29 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC25 , 4G146BC38A , 4G146BC38B , 4G146BC42 , 4G146BC43 , 4G146BC44 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030BA18 , 4K030BA27 , 4K030BA38 , 4K030BB14 , 4K030CA06 , 4K030CA17 , 4K030DA01 , 4K030FA10 , 4K030JA09 , 4K030LA11 , 4K030LA15 , 4K030LA18 , 5C127AA01 , 5C127BA09 , 5C127BA13 , 5C127BA15 , 5C127BB05 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD12 , 5C127DD39 , 5C127EE04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (14)

欧州特許出願公開第1245704号明細書
電子放出素子,電子放出装置,発光装置及び画像表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-255145 Applicant：キヤノン株式会社
米国特許第5872422号明細書

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Cited by examiner (7)

電子放出素子、電子源及び画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-239899 Applicant：キヤノン株式会社
電子放出素子、電子源及び画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-274055 Applicant：キヤノン株式会社
成膜方法及び成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-198583 Applicant：株式会社アルバック

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